Кремний монокристаллический электронного качества



ТИПОВЫЕ СПЕЦИФИКАЦИИ

характеризующие диапазон параметров слитка

Слиток кремния p-типа, легированный бором


Наименование параметра Ед.изм. Значение
1 Метод выращивания Чохральский
2 Диаметр мм 42.5 - 200
3 Тип / Легирующая примесь P / Бор
4 Удельное электрическое сопротивление (УЭС) Ом•см 0.005 ~ 60
5 Радиальное отклонение УЭС, не более % 10
6 Кристаллографическая ориентация (100), (111) ±1°
7 Базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
8 Дополнительный базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
9 Содержание углерода, не более ат/см3 5•1016
10 Содержание кислорода, не более* ат/см3 9•1017
11 Время жизни н.н.з., не менее (при УЭС более 1.0 Ом•см) µсек 10
12 Плотность дислокаций, не более шт/см2 10
13 Плотность окислительных дефектов упаковки шт/см2 В случае необходимости (подлежит уточнению)
14 Длина слитка мм 100 - 800
15 Упаковка Соответствующая упаковка обеспечит целостность слитка во время транспортировки (полиэтиленовая пленка, пеностироловые пеналы, картонные коробки на паллете)
Примечания:
1. Производителем и Поставщиком является ЧАО “Завод полупроводников”, Запорожье, Украина.
2. Сырьем является кремний поликристаллический полупроводникового качества собственного производства, полученный методом водородного воостановления.
3. Все параметры измеряются в соответствии с требованиями стандартов ASTM (SEMI).
4. По требованию заказчика можно согласовать другие параметры.
5. Если необходимо, слитки диаметром до 100 мм и с УЭС более 3 Ом•см могут отжигаться.
* Содержание кислорода в слитке, диаметром 150-200 мм, составляет ≤ 1•1018.

Информация в PDF формате



Слиток кремния n-типа, легированный фосфором


Наименование параметра Ед.изм. Значение
1 Метод выращивания Чохральский
2 Диаметр мм 42.5 - 150
3 Тип / Легирующая примесь N / фосфор
4 Удельное электрическое сопротивление (УЭС) Ом•см 0.015 ~ 50
5 Радиальное отклонение УЭС, не более % 15 - 20
6 Кристаллографическая ориентация (100), (111) ±1°
7 Базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
8 Дополнительный базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
9 Содержание углерода, не более ат/см3 5•1016
10 Содержание кислорода, не более ат/см3 9•1017
11 Время жизни н.н.з., не менее (при УЭС более 1.0 Ом•см) µсeк 10
12 Плотность дислокаций, не более шт/см2 10
13 Плотность окислительных дефектов упаковки шт/см2 В случае необходимости (подлежит уточнению)
14 Длина слитка мм 100 - 800
15 Упаковка Соответствующая упаковка обеспечит целостность слитка во время транспортировки (полиэтиленовая пленка, пеностироловые пеналы, картонные коробки на паллете)
Примечания:
1.Производителем и Поставщиком является ЧАО “Завод полупроводников”, Запорожье, Украина.
2. Сырьем является кремний поликристаллический полупроводникового качества собственного производства, полученный методом водородного восстановления.
3. Все параметры измеряются в соответствии с требованиями стандартов ASTM (SEMI).
4. По требованию заказчика можно согласовать другие параметры, включая диаметр.
5. Если необходимо, слитки диаметром до 100 мм и с УЭС более 3 Ом•см могут отжигаться.

Информация в PDF формате



Слиток кремния n-типа, легированный сурьмой

Наименование параметра Ед.изм. Значение
1 Метод выращивания Чохральский
2 Диаметр мм 76 - 150
3 Тип / Легирующая примесь N / сурьма
4 Удельное электрическое сопротивление (УЭС) Ом•см 0.0065 ~ 0.02
5 Радиальное отклонение УЭС, не более * % 30
6 Кристаллографическая ориентация (100), (111) ±1°
7 Базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
8 Дополнительный базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
9 Содержание углерода, не более ат/см3 неприменимо
10 Содержание кислорода, не более ат/см3 неприменимо
11 Содержание бора, не более ат/см3 5 •1014
12 Плотность дислокаций, не более шт/см2 10
13 Длина слитка мм 100 - 800
14 Упаковка Соответствующая упаковка обеспечит целостность слитка во время транспортировки (полиэтиленовая пленка, пеностироловые пеналы, картонные коробки на паллете)
Примечания:
1.Производителем и Поставщиком является ЧАО “Завод полупроводников”, Запорожье, Украина.
2. Сырьем является кремний поликристаллический полупроводникового качества собственного производства, полученный методом водородного восстановления.
3.Все параметры измеряются в соответствии с требованиями стандартов ASTM (SEMI).
4. По требованию заказчика можно согласовать другие параметры, включая диаметр.
5. Обычно, содержание бора не превышает 7,5*1013 cm-3. Значение данного параметра гарантируется качеством кремния поликристаллического, а также внутренними лабораторными исследованиями.
* Изменение УЭС не превышает 15% для слитков, диаметром до 150 мм и кристаллографической ориентацией (100).

Информация в PDF формате



Слиток кремния n-типа, легированный мышьяком

Наименование параметра Ед.изм. Значение
1 Метод выращивания Чохральский
2 Диаметр мм 76 - 150
3 Тип / Легирующая примесь N / мышьяк
4 Удельное электрическое сопротивление (УЭС) Ом•см 0.001 ~ 0.02
5 Радиальное отклонение УЭС, не более % 20
6 Кристаллографическая ориентация (100), (111) ±1°
7 Базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
8 Дополнительный базовый срез
Ориентация Длина
мм В случае необходимости (подлежит уточнению)
9 Содержание углерода, не более ат/см3 неприменимо
10 Содержание кислорода, не более* ат/см3 неприменимо
11 Содержание бора, не более ат/см3 5 •1014
12 Плотность дислокаций, не более шт/см2 10
13 Длина слитка мм 100 - 800
14 Упаковка Соответствующая упаковка обеспечит целостность слитка во время транспортировки (полиэтиленовая пленка, пеностироловые пеналы, картонные коробки на паллете)
Примечания:
1.Производителем и Поставщиком является ЧАО “Завод полупроводников”, Запорожье, Украина.
2.Сырьем является кремний поликристаллический полупроводникового качества собственного производства, полученный методом водородного восстановления.
3.Все параметры измеряются в соответствии с требованиями стандартов ASTM (SEMI).
4.По требованию заказчика можно согласовать другие параметры, включая диаметр.
5.Обычно, содержание бора не превышает 7,5*1013 см-3. Значение данного параметра гарантируется качеством кремния поликристаллического, а также внутренними лабораторными исследованиями.

Информация в PDF формате