Пьедесталы для изготовления прутков- подложек

ТИПОВАЯ СПЕЦИФИКАЦИЯ

характеризующая диапазон параметров пьедестала

Пьедесталы для вытягивания прутков-подложек. Данный слиток предназначен для дальнейшего выращивания прутков-подложек методом БЗП с пьедестала.
Наименование параметра Ед.изм. Значение
1 Метод выращивания Чохральский
2 Кристалличность Кремний поликристаллический / монокристаллический
3 Диаметр мм 42.5 - 150
4 Тип / Легирующая примесь P, N / бор, фосфор
5 Удельное Электрическое Сопротивление Ом•см 0.005 ~ 30
6 Содержание углерода, не более* at/cm3 5•1016
7 Содержание кислорода, не более* ат/см3 9•1017
8 Длина слитка мм 150 - 900
9 Упаковка Соответствующая упаковка обеспечит целостность слитка во время транспортировки (полиэтиленовая пленка, пеностироловые пеналы, картонные коробки на паллете)
Примечания:
1. Производителем и Поставщиком является ЧАО “Завод полупроводников”, Запорожье, Украина.
2. Сырьем являются пьедесталы собственного производства, изготовленные из кремния поликристаллического полупроводникового качества.
3. Все параметры измеряются в соответствии с требованиями стандартов ASTM (SEMI).
4. По требованию заказчика можно согласовать другие параметры.
* Значение данного параметра гарантируется качеством кремния поликристаллического и может измеряться на пластинах, отрезанных от слитка кремния монокристаллического.

Информация в PDF формате